儀器型號

GT-CNC-3020H

GT-CNC-4030H

GT-CNC-5040H

工作臺

XY軸行程

300/200

400/300

500/400

Z軸行程

有效空間245mm,調(diào)焦行程200mm，工作距離95mm

金屬臺面尺寸

450/350

550/450

700/600

玻璃臺面尺寸

330*230

430*330

530*430

傳動型式

X/Y/Z軸精密線性導(dǎo)軌/研磨級滾珠螺桿

測量伺服驅(qū)動
系統(tǒng)

光學(xué)尺分辨率：X/Y/Z軸0.0005MM（0.5UM）

測量精度：≤2.5UM+L/200 重復(fù)精度：≤2.5UM+L/200

X/Y/Z三軸中國臺灣高性能伺服電機(jī)，雙重閉環(huán)控制系統(tǒng)

影像系統(tǒng)

攝像機(jī)：SONY 1/3″CCD 攝像機(jī)放大倍率30-230X

自動變倍鏡頭：NAV高清變倍鏡頭//連續(xù)放大倍率0.7-4.5X
可選配0.5X物鏡時，總放大倍率15-115X
可選配2X物鏡時，總放大倍率60-460X

光源系統(tǒng)

表面光源與透射光源LED冷光源、壽命長、亮度可調(diào)

儀器外形尺寸（L*W*H）

700MM*850MM*1650MM

800MM*900MM*1650MM

900MM*1050MM*1650MM

儀器重量（KG）

330

400

550